Gas sensor microsystems based on nanostructured layers via anodic oxidation 

Calavia Boldú, Raúl (Data de defensa: 2012-10-11)

En aquesta tesi es detalla la metodologia per obtindre sensors de gasos basats en òxid de tungstè nanoestructurat sobre suports micromecanitzats de silici. Aquesta nanoestructuració s’ha fet mitjançant una capa d’alúmina ...