Application of CMOS-MEMS integrated resonators to RF communication systems 

López Méndez, Joan Lluís (Date of defense: 2009-09-21)

Els dispositius MEMS han demostrat la seva utilitat en un gran ventall d'aplicacions de sensat i actuació. L'extensió al domini de RF d'aquests elements mecànics són ara una de les peces clau per sistemes altament ...