dc.contributor
Universitat Rovira i Virgili. Departament d'Enginyeria Electrònica, Elèctrica i Automàtica
dc.contributor.author
Inglés Bort, Roser
dc.date.accessioned
2011-04-12T18:00:04Z
dc.date.available
2011-02-17
dc.date.issued
2010-11-29
dc.date.submitted
2011-02-17
dc.identifier.isbn
9788469403273
dc.identifier.uri
http://www.tdx.cat/TDX-0217111-132122
dc.identifier.uri
http://hdl.handle.net/10803/8483
dc.description.abstract
Hoy en día, la normativa sobre gases que son tóxicos a muy bajas concentraciones se está haciendo muy estricta. Por esta razón, los dispositivos como los preconcentradores que permiten la detección de estos gases a bajas concentraciones se están investigando cada vez más.<br/><br/>En esta tesis se hace un estudio sobre preconcentradores planos fabricados en silicio, con la idea de poder integrarlos con el sistema sensor. Estos preconcentradores se han simulado para comprender mejor su funcionamiento. Se ha hecho un estudio para conseguir una óptima homogenización de temperatura en el área calentada. <br/><br/>Se han fabricado nuevos diseños con calefactores optimizados. También se han fabricado membranas grandes para poder depositar más material adsorbente y así incrementar la capacidad de concentración. Los nuevos diseños han sido caracterizados para validar las simulaciones y poder crear un modelo que sirva para probar nuevas ideas de diseño evitando los largos y costosos procesos de fabricación.
spa
dc.description.abstract
Nowadays the allowed limits of volatiles that are toxic at very low concentrations are becoming restrictive. For this reason, preconcentrators which let detection at low levels are becoming more important and its study is increasing.<br/><br/>In this thesis, our aim is to design a planar preconcentrator in silicon technology, in order to be able to design in the same substrate the preconcentrator and the sensor system. Simulations have been developed to study its behaviour. A good homogenisation temperature is needed in order to obtain big concentrations in a narrow desorption peak. <br/><br/>We will develop new designs which improve homogenisation temperature. Also, a large area is needed in order to have more adsorbent material which ensures more concentration. New design have been fabricated and characterized. Experimental results validate our simulations and let us to develop future designs avoiding time and cost fabrication.
eng
dc.format.mimetype
application/pdf
dc.publisher
Universitat Rovira i Virgili
dc.rights.license
ADVERTIMENT. L'accés als continguts d'aquesta tesi doctoral i la seva utilització ha de respectar els drets de la persona autora. Pot ser utilitzada per a consulta o estudi personal, així com en activitats o materials d'investigació i docència en els termes establerts a l'art. 32 del Text Refós de la Llei de Propietat Intel·lectual (RDL 1/1996). Per altres utilitzacions es requereix l'autorització prèvia i expressa de la persona autora. En qualsevol cas, en la utilització dels seus continguts caldrà indicar de forma clara el nom i cognoms de la persona autora i el títol de la tesi doctoral. No s'autoritza la seva reproducció o altres formes d'explotació efectuades amb finalitats de lucre ni la seva comunicació pública des d'un lloc aliè al servei TDX. Tampoc s'autoritza la presentació del seu contingut en una finestra o marc aliè a TDX (framing). Aquesta reserva de drets afecta tant als continguts de la tesi com als seus resums i índexs.
dc.source
TDX (Tesis Doctorals en Xarxa)
dc.subject
Modelització i simulació preconcentradors
dc.title
Modelization, simulation and design of micro-electro-mechanicazed systems (mems) preconcentrators for gas sensing
dc.type
info:eu-repo/semantics/doctoralThesis
dc.type
info:eu-repo/semantics/publishedVersion
dc.contributor.authoremail
roser.ingles@urv.cat
dc.contributor.director
Ramírez Falo, Jose Luis
dc.rights.accessLevel
info:eu-repo/semantics/openAccess
cat
dc.identifier.dl
T-198-2011
