Espectrometría de masas de iones secundarios: aportaciones a la técnica y caracterización de capas finas de a-C:H y de a-Si:H 

López Fernández, Francisco (Date of defense: 1993-07-19)

Entre las técnicas microanalíticas, el SIMS ha experimentado un gran éxito en las dos últimas décadas. Su habilidad para proporcionar datos de composición elemental y estructura, su capacidad para detectar pequeñas ...