Resonadores micromecanizados para su aplicación en la detección de gases 

Morata Cariñena, Marta (Date of defense: 2004-06-23)

El objetivo de este trabajo consiste en diseñar, fabricar y caracterizar nuevas estructuras mecánicas micromecanizadas para su aplicación a sensores de gases.<br/>Para ello, y dentro del campo de la micromecanización como ...