Thin-film bulk acoustic wave resonators - FBAR: fabrication, heterogeneous integration with CMOS technologies and sensor applications 

Campanella Pineda, Humberto (Date of defense: 2008-02-29)

El gran impacto de la tecnología FBAR tanto en sistemas de radio frecuencia como más recientemente en sensores han motivado el desarrollo de aplicaciones integradas. Esto implica que los procesos de fabricación deberían ...