2024-03-29T09:45:23Zhttps://www.tdx.cat/oai/requestoai:www.tdx.cat:10803/15092017-09-23T11:18:03Zcom_10803_1col_10803_46
nam a 5i 4500
Alumini
sensors de gas
Pt-Ti
MEF.
fatiga tèrmica
microsistemes
MEMS
Anàlisi termo-mecànica d'estructures micromecanitzades per a sensors de gas
[Barcelona] :
Universitat de Barcelona,
2011
Accés lliure
http://hdl.handle.net/10803/1509
cr |||||||||||
AAMMDDs2011 sp ||||fsm||||0|| 0 cat|c
8468910554
Puigcorbé Punzano, Jordi,
autor
Tesi
Doctorat
Universitat de Barcelona. Departament d'Electrònica
2003
Universitat de Barcelona. Departament d'Electrònica
Tesis i dissertacions electròniques
Morante i Lleonart, Joan Ramon,
supervisor acadèmic
Vilà Arbonés, Anna,
supervisor acadèmic
Marco Colás, Santiago,
supervisor acadèmic
TDX
En aquest treball s'ha establert una metodologia d'anàlisi i caracterització del comportament tèrmic, mecànic i termomecànic d'estructures micromecanitzades per a sensors de gas a través de la combinació de simulacions numèriques i tècniques de caracterització de microsistemes (mesures electro-tèrmiques, termografia, nanoindentació, AFM, XRD, microscopia confocal, Auger).<br/>L'estudi del comportament tèrmic de les estructures micromecanitzades ha permès obtenir les característiques bàsiques que controlaran el comportament del sensor, com són el consum en potència, la distribució de temperatura i el temps de resposta del substrat. L'anàlisi termomecànic ha consistit en determinar els esforços residuals en cada estructura així com l'estudi de la deformació dels diferents dissenys per a diferents temperatures de treball. S'han identificat diferents mecanismes de degradació en els materials que formen els sensors i s'ha obtingut el comportament termomecànic fins la ruptura del sensor. Tant en l'estudi tèrmic com en el termomecànic, la interacció entre la capa sensora i el substrat micromecanitzat així com l'influencia del material sensor en el comportament global del dispositiu han estat aspectes investigats.<br/>El treball inclou, a més, la caracterització termomecànica del Pt-Ti emprat en estructures micromecanitzades a través de la utilització de mètodes de Nanoindentació, Microscopia de Forces Atòmiques (AFM), Difracció de Raigs X (XRD) i espectroscopia Auger. <br/>També inclou el desenvolupament d'una metodologia per predir la fatiga tèrmica en microsistemes basada en la combinació dels models elasto-plàstics de metalls en capa prima (Alumini, Pt-Ti) amb simulacions numèriques. <br/>Finalment, de la metodologia d'anàlisi electro-termo-mecànic que s'ha dut a terme, es poden obtenir regles de disseny per la implementació de microsistemes que treballin en diferents règims de temperatura i en concret, directament aplicables al disseny i fabricació d'estructures micromecanitzades per a sensors de gas
b
ES-BaCBU
cat
rda
ES-BaCBU
text
txt
rdacontent
informàtic
c
rdamedia
recurs en línia
cr
rdacarrier