Use this identifier to quote or link this thesis: http://hdl.handle.net/10803/42300
| Title: | Wide Bandgap Semiconductors for MEMS and Related Process Technologies |
|---|---|
| Author: | Placidi, Marcel |
| Email: | marcel.placidi@gmail.com |
| Director: | Godignon, Philippe |
| Tutor: | Flores, David |
| Department/Institute: | Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica |
| Resum: | |
| Date of defense: | 2010-07-28 |
| Copyright deposit: | B-37363-2011 |
| ISBN: | 9788469464335 |
| Keywords: | Semiconductor MEMS Resonator |
| Subject(s): | 621.3 - Enginyeria elèctrica. Electrotècnia. Telecomunicacions |
| Knowledge area: | Tecnologies |
| Rights: | ADVERTIMENT. L'accés als continguts d'aquesta tesi doctoral i la seva utilització ha de respectar els drets de la persona autora. Pot ser utilitzada per a consulta o estudi personal, així com en activitats o materials d'investigació i docència en els termes establerts a l'art. 32 del Text Refós de la Llei de Propietat Intel·lectual (RDL 1/1996). Per altres utilitzacions es requereix l'autorització prèvia i expressa de la persona autora. En qualsevol cas, en la utilització dels seus continguts caldrà indicar de forma clara el nom i cognoms de la persona autora i el títol de la tesi doctoral. No s'autoritza la seva reproducció o altres formes d'explotació efectuades amb finalitats de lucre ni la seva comunicació pública des d'un lloc aliè al servei TDX. Tampoc s'autoritza la presentació del seu contingut en una finestra o marc aliè a TDX (framing). Aquesta reserva de drets afecta tant als continguts de la tesi com als seus resums i índexs. |
| Pages: | 206 p. |
| Share: | |
| Download: | DIDL MARC MARC_CCUC METS OAI_DC ORE QDC RDF |
Full text files in this thesis
| Files | Size | Format | Description |
|---|---|---|---|
| mp1de1.pdf | 14.32 MB | Tesi | |
| mpresum1de1.pdf | 140.2 KB | Resum |