Towards a new dimension in analytical TEM: EELS, Tomography and the Spectrum Volume

Author

Yedra Cardona, Lluís

Director

Peiró Martínez, Francisca

Estradé Albiol, Sònia

Date of defense

2013-12-18

Legal Deposit

B 15383-2014

Pages

265 p.



Department/Institute

Universitat de Barcelona. Departament d'Electrònica

Abstract

The main goal of this thesis is to combine electron tomography and electron energy loss spectroscopy (EELS) in the TEM, in order to obtain chemical and electronic information in 3D in the nanoscale. Tomography in the TEM has been discussed and the advantages and disadvantages of HAADF STEM tomography have been analyzed. - A Fe3O4 nanocube sample has been considered to illustrate the acquisition, alignment, tilt axis assessment, reconstruction and visualization processes. - HAADF STEM tomography has been used to reconstruct the shape of a series of Cu2O nanoparticles. For one of the samples, the facets of the Cu2O nanoparticles, octahedral in shape, have been found to correspond to {111} planes. The physics and the data analysis methods of core-loss EELS have been briefly summarized. Two relevant contributions have been made: - The effects of beam precession on EELS have been investigated. A signal enhancement due to electron beam precession in the TEM when in zone axis conditions has been discovered for the first time. - A homemade software, Oxide Wizard, for valence state determination of transition metals has been developed and applied to map the Mn oxidation state of a MnOx/FeOy nanoparticle. EELS spectrum imaging and electron tomography have been combined to recover chemical information in 3D for FexCo(3-x)O4@Co3O4 mesoporous nanoparticles. - The samples have been first characterized by HAADF STEM tomography and EELS. - EELS chemical information is, of course, limited to 2D maps, while only structural information is be recovered in 3D form HAADF tomography. . An EELS-SI tilt series has been acquired at 80 kV and low acquisition times, resulting in a very noisy dataset. - Principal component analysis (PCA) has been used to separate the noise from the signal. - Quantifications of the O, Fe and Co signals have been reconstructed, and the shape of the particle recovered. - From the noise clean dataset, components with physical meaning (iron oxide, cobalt oxide and thickness) have been extracted using independent component analysis (ICA), and reconstructed in 3D. - A new kind of signal with chemical and thickness information has been obtained by combining the thickness component with the quantification results. This signal is able to properly reconstruct the chemical structure of the sample in 3D, detecting a higher presence of iron in the surface, and an even distribution of Fe inside of the particle. . Another EELS-SI tilt series has been acquired at 80 kV and low acquisition times with enough spatial resolution to resolve the porous structure. - The noise has been reduced using PCA. - Four signals extracted from the spectrum have been reconstructed: the integrated edge intensities for oxygen, iron and cobalt, and the integrated background prior to the oxygen edge. EELS-SI tomography has been applied to reconstruct CoFe2O4 (CFO) nanocolumns embedded in a BiFeO3 (BFO) matrix grown on LaNiO3 buffered LaAlO3 substrate (BFO-CFO//LNO/LAO). - The nanocomposite sample has been prepared in a nanoneedle shape by means of focused ion beam (FIB). This preparation has the advantage of keeping the thickness of the sample constant throughout the tilting experiment. The nanoneedle contains an island of CFO in a matrix of BFO, as well as the LNO/LAO substrate. - The noise has been discarded using PCA. - The oxygen, iron and lanthanum edges intensities have been extracted and reconstructed. A new kind of data hypercube, the Spectrum Volume, has been proposed. Just as a Spectrum Image contains a spectrum per pixel, a Spectrum Volume is to contain a spectrum per voxel. EELS-SI tomography has been applied to successfully acquire a spectrum volume (SV) of the (BFO-CFO//LNO/LAO) system. - PCA has been used to discard the noise and Bayesian linear unmixing (BLU) has been used to extract independent components (eigenspectra). - Each eigenspectrum has a 2D weighting map for each tilt; weighting maps have been reconstructed into 3D weighting volumes. - Full single spectra for any point in the reconstructed space can now be recovered as a weighed sum of eigenspectra, using the 3D weighting distributions. This approach is used to extract single spectra, spectrum lines and spectrum images from the inside of the sample. In the context of this thesis, tomography and EELS-SI have been combined to successfully recover chemical information in 3D at the nanoscale, and a new kind of data hypercube, the Spectrum Volume, has been proposed and experimentally recovered.


En el microscopi electrònic de transmissió (TEM), es poden obtenir imatges d’una mostra des de diferents angles i posteriorment reconstruir aquestes imatges en tres dimensions (3D). Per altra banda, les interaccions dels electrons del feix amb els electrons de la mostra poden ser analitzades mitjançant l’espectroscòpia de pèrdues d’energia dels electrons (EELS), obtenint així informació química de la mostra. L’objectiu d’aquesta tesi és la combinació de l’espectroscòpia EELS amb la tomografia electrònica per obtenir informació química en 3 dimensions a la nanoescala. S’han explicat les bases de la tomografia electrònica i el procediment de la reconstrucció ha estat il•lustrat amb una mostra de nanocubs d’òxid de ferro. Posteriorment, s’ha aplicat a una sèrie de nanopartícules de Cu2O per tal de descriure’n la forma. També s’ha explicat la física en què es basa l’EELS, fent especial atenció als llindars d’altes pèrdues d’energia. A continuació, s’ha mostrat l’augment del senyal obtingut amb precessió electrònica al TEM quan la mostra es troba en condicions d’eix de zona. Seguint amb les aplicacions d’EELS, s’ha explotat la possibilitat de caracteritzar els estats d’oxidació dels metalls de transició mitjançant un programa propi, escrit per a Digital Micrograph i anomenat Oxide Wizard. Una vegada la tomografia electrònica i l’espectroscòpia de pèrdues d’energia dels electrons han estat explicades, s’ha procedit a reconstruir informació extreta d’EELS en 3D. S’han realitzat una sèrie d’experiments amb partícules mesoporoses que han demostrat la utilitat d’aplicar l’anàlisi multivariable per tal de reduir el soroll de les dades i extreure’n els components. Finalment, s’ha dissenyat un experiment en el qual ha estat possible recuperar l’espectre corresponent a cada unitat d’espai com la combinació d’espectres propis en una mostra preparada en forma de nanoagulla. Els espectres recuperats corresponen a la contribució de cada unitat de volum als espectres projectats. Aquest nou tipus de dades permet extreure espectres de l’interior d’una mostra. Finalment, doncs, s’ha pogut combinar amb èxit la tomografia electrònica i EELS per obtenir informació química en tres dimensions a la nanoescala.

Keywords

Electrònica; Electrónica; Electronics; Microscòpia electrònica de transmissió; Microscopía electrónica de transmisión; Transmission electron microscopy; Tomografia; Tomografía; Tomography; Espectroscòpia de pèrdua d'energia d'electrons; Espectroscopía por pérdidas de energía de electrones; Electron energy loss spectroscopy

Subjects

53 - Physics

Knowledge Area

Ciències Experimentals i Matemàtiques

Documents

LLYC_PhD_THESIS.pdf

8.237Mb

 

Rights

ADVERTIMENT. L'accés als continguts d'aquesta tesi doctoral i la seva utilització ha de respectar els drets de la persona autora. Pot ser utilitzada per a consulta o estudi personal, així com en activitats o materials d'investigació i docència en els termes establerts a l'art. 32 del Text Refós de la Llei de Propietat Intel·lectual (RDL 1/1996). Per altres utilitzacions es requereix l'autorització prèvia i expressa de la persona autora. En qualsevol cas, en la utilització dels seus continguts caldrà indicar de forma clara el nom i cognoms de la persona autora i el títol de la tesi doctoral. No s'autoritza la seva reproducció o altres formes d'explotació efectuades amb finalitats de lucre ni la seva comunicació pública des d'un lloc aliè al servei TDX. Tampoc s'autoritza la presentació del seu contingut en una finestra o marc aliè a TDX (framing). Aquesta reserva de drets afecta tant als continguts de la tesi com als seus resums i índexs.

This item appears in the following Collection(s)