Estudio morfológico y estructural del crecimiento epitaxial de capas de Si y Si 1-y Cy 

El Felk, Zakia (Date of defense: 2001-03-05)

En este trabajo se ha estudiado el crecimiento epitaxial de capas de silicio sobre substrato de Si (001) y capas pseudomórficas de Si1-yCy utilizando silano y tetrametilsilano como gases precursores en el crecimiento vía ...